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氮?dú)夤?/a>
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無(wú)塵室氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過(guò)程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象； 由于普通的干燥存儲(chǔ)柜或者氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，且無(wú)自?xún)艄δ埽蕛?nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。
潔凈室氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過(guò)程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象； 由于普通的干燥存儲(chǔ)柜或者氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，且無(wú)自?xún)艄δ埽蕛?nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。
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